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簡要描述：蘇州電子特氣提純復疊制冷機組用于實現(xiàn)低溫分離、液化純化 等關鍵步驟，不同氣體的物性差異導致所需溫度范圍差異顯著。
產(chǎn)品型號： 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2026-01-07訪 問 量：112詳細介紹
蘇州電子特氣提純復疊制冷機組-江蘇康士捷機械設備有限公司設計生產(chǎn)，型號齊全。
蘇州電子特氣提純復疊制冷機組用于
氣體類型 | 用途 | 提純溫度范圍 |
高純硅烷（SiH?） | CVD沉積、外延生長 | -80℃～-120℃ |
六氟化鎢（WF?） | 金屬鎢沉積 | -30℃～-50℃ |
三氟化氮（NF?） | 等離子體清洗 | -60℃～-80℃ |
氯化物（HCl） | 刻蝕、外延 | -85℃～-100℃ |
八氟環(huán)丁烷（C?F?） | 介電材料刻蝕 | -40℃～-60℃ |
蘇州電子特氣提純復疊制冷機組有高溫型（5℃～35℃）、中溫型（-5℃～-40℃）、低溫型（-40℃～-80℃）、極低溫型（-150℃～-80℃）、冷熱兩用型（-150℃～+300℃）等系列產(chǎn)品供貴司選用。制冷量大小都有，有防爆型，防腐型，撬裝式，變頻型等。接受非標定做。溫度穩(wěn)定性±0.1℃等可選。
蘇州電子特氣提純復疊制冷機組多案例供參考。
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